羅芬激光氣體由二氧化碳Carbon Dioxide 4 % ,一氧化碳Carbon Monoxide 6 %  ,氧氣Oxygen 3 %,氙Xenon 3 %,氮氣Nitrogen 19 % ,氦氣Helium 65 % (Balance) 組成。羅芬激光氣體的重要特點之一,激光工作物質是混合氣或單一純氣體。由于羅芬激光氣體中組分氣的純度直接影響激光的性能,特別是氣體中氧、水、碳氫化合物等雜質的存在將導致激光輸出功率在鏡(面)和電極上的耗損,還會引起激光發射的不穩定。

因此,對羅芬激光氣體組分的純度有著特殊要求,包裝羅芬激光氣體的鋼瓶,充裝前也須進行干燥處理,防止污染混合氣。如果將氦(He)氖(Ne)激光作為第yi代氣體激光,二氧化碳激光是第2代氣體激光,在半導體制造領域將大量使用的氟化氪(KrF)激光,可稱為第三代激光。

「羅芬激光氣體」-干燥處理,防止污染混合氣!